Записи с меткой: плазмохимическое травление

Физики МГУ разработали виртуальный датчик для реакторов плазмохимического травления

Физики МГУ разработали виртуальный датчик для реакторов плазмохимического травления

Сотрудники НОШ МГУ «Фотонные и квантовые технологии. Цифровая медицина» представили виртуальный датчик энергетического спектра ионов в плазме высокочастотных емкостных разрядов и показали возможности его использования. Точный контроль параметров, определяемых с помощью датчика, необходим при производстве современных микрочипов, например, при атомно-слоевом травлении материала подзатворного диэлектрика...

подробнее »